單質(zhì)靶材:鉍(Bi)靶材,碲(Te)靶材,鋯(Zr)靶材,鎘(Cd)靶材,鉿(Hf)靶材,硫(S)靶材,鋁(Al)靶材,錳(Mn)靶材,鉬(Mo)靶材,鈮(Nb)靶材,鎳(Ni)靶材,銣(Rb)靶材,鈦(Ti)靶材,銻(Sb)靶材,銅(Cu)靶材,銦(In)靶材,硒(Se)靶材等
合金靶材:銅銦(CuIn)靶材,銅鎵(CuGa)靶材,銅鋅(CuZn)靶材,銅鎵銦(CuGaIn)靶材;銅銦鎵硒(CuInGaSe)靶材,鉍碲硒(BiTeSe)靶材,鉍銻碲(BiSbTe)靶材,鍺銻碲(GeSbTe)靶材,
碲化物靶材:碲化鉍(Bi2Te3)靶材,碲化銻(Sb2Te3)靶材,碲化鋅(ZnTe)靶材,碲化銅(CuTe)靶材,碲化鉛(PbTe)靶材,碲化銦(InTe)靶材,碲化鎘(CdTe)靶材等
單質(zhì)靶材:鉍(Bi)靶材,碲(Te)靶材,鋯(Zr)靶材,鎘(Cd)靶材,鉿(Hf)靶材,硫(S)靶材,鋁(Al)靶材,錳(Mn)靶材,鉬(Mo)靶材,鈮(Nb)靶材,鎳(Ni)靶材,銣(Rb)靶材,鈦(Ti)靶材,銻(Sb)靶材,銅(Cu)靶材,銦(In)靶材,硒(Se)靶材等
合金靶材:銅銦(CuIn)靶材,銅鎵(CuGa)靶材,銅鋅(CuZn)靶材,銅鎵銦(CuGaIn)靶材;銅銦鎵硒(CuInGaSe)靶材,鉍碲硒(BiTeSe)靶材,鉍銻碲(BiSbTe)靶材,鍺銻碲(GeSbTe)靶材,
碲化物靶材:碲化鉍(Bi2Te3)靶材,碲化銻(Sb2Te3)靶材,碲化鋅(ZnTe)靶材,碲化銅(CuTe)靶材,碲化鉛(PbTe)靶材,碲化銦(InTe)靶材,碲化鎘(CdTe)靶材等
硒化物靶材:硒化鉍(Bi2Se3)靶材,硒化銻(Sb2Se3)靶材,硒化銅(CuSe)靶材,硒化鉛(PbSe)靶材等
銻化物靶材:銻化銦(InSb)靶材,銻化鎘(CdSb)靶材,銻化鋅(Zn4Sb3)靶材等
硫化物靶材:硫化鋅(ZnS)靶材,硫化銦(In2S3)靶材,硫化鎘(CdS)靶材,硫化鉍(Bi2S3)靶材,硫化鎵(Ga2S3)靶材,硫化銅(CuS2)靶材等
氧化物靶材:氧化鋅(ZnO)靶材,氧化鎵(Ga2O3)靶材,氧化銦(In2O3)靶材,氧化鋁(Al2O3)靶材等
氮化物靶材:氮化銦(InN)靶材,氮化鎵(GaN)靶材